螺杆型干式真空泵详细介绍，收藏一下

2024/11/15 15:44:30

螺杆型干式真空泵

1.工作原理

螺杆泵的工作循环可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现以其中的一对齿来说明。

1）吸气过程

下图示出螺杆泵的吸气过程，所研究的一对齿用箭头标出。在图中，阳转子按逆时针方向旋转，阴转子按顺时针方向旋转。图中的转子端面是吸气端面。

螺杆真空泵的吸气过程

图a示出吸气过程即将开始时的转子位置。在这一时刻，这一对齿前端的型线完全啮合，且即将与吸气口连接。

随着转子开始转动，由于齿的一端逐渐脱离啮合而形成了齿间容积，这个齿间容积的扩大，在其内部形成了一定的真空，而此齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下流入其中，如图b中阴影部分所示。

在随后的转子旋转过程中，阳转子齿不断从阴转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔口保持连通。

吸气过程结束时的转子位置如图c所示，其最显著的特点是齿间容积达到最大值。随着转子的旋转，所研究的齿间容积不会再增加。齿间容积在此位置与吸气孔口断开，吸气过程结束。

2）压缩过程

下图示出螺杆泵的压缩过程。图中的转子端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。

螺杆真空泵的压缩过程

图a示出螺杆泵压缩过程即将开始时的转子位置。此时气体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中，齿间容积由于转子齿的啮合就要开始减小。

随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小。被密封在齿间容积中的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程，如图b所示。压缩过程可一直持续到齿间容积即将与排气孔口连通之前。如图c所示。

3）排气过程

下图示出螺杆泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出，如图a所示。

这个过程一直持续到齿末端的型线完全啮合，如图b所示。此时，齿间容积内的气体通过排气孔口被完全排出，封闭的齿间容积的体积变为零。

螺杆真空泵的排气过程

2.干式螺杆真空泵特征

①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。

②操作维护方便。

③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。

④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.

⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。

3.螺杆式干式真空泵的应用

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。

在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得；化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物；医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂；食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等。应用范围极为广泛。具体如下：

具体应用：干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域能够抽除普通空气，易燃易爆气体、腐蚀性气体，尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。

具体应用：真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。

纺织、冶金等行业在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵。

具体应用：真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。

一类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。

①清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸汽的空气；

②中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物；

③恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物（有毒甚至致癌）及固体颗粒物。

另一类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。

4.干式螺杆真空泵的操作方法

1)开机前的检查与准备

①检查真空泵各个部件是否齐全；

②在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处；

③检查确认真空机组各个阀门的状态；

a.工艺入口阀关闭

b.入口过滤器排污阀关闭?

c.出口管线畅通，出口管排污阀打开

d.冷却水入口管线和出口管线阀门打开

e.氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭

2)干式螺杆真空泵的开机操作步骤

a.现场与中控联系，确认可以启动，通过现场操作柱启动按钮启动真空泵；

b.关闭出口管排污阀；

c.检查或调节氮封气流量，确认流量在2.5——3L/min；

d.打开吹扫阀，确认流量计流量调至最大，吹扫5——10分钟后，关闭吹扫阀；

e.打开工艺入口阀，切入系统；

f.真空泵运转过程中，注意观察机体温度，可通过温度调节阀调节水量来控制温度（温度调节阀位于0刻度时水量最大，位于5刻度时水量最小），要求温度尽量控制在50——75℃，确保不超过80℃。

3.螺杆真空泵的停机操作步骤

a.关闭工艺入口阀，切出系统；

b.打开吹扫阀，吹扫20——40分钟后，关闭吹扫阀；

c.通过现场操作柱停止按钮停机；

d.关闭氮气阀门；

e.关闭冷却水阀门；如冬季长期不用，需排净机体及管线内的冷却水以防冻；

f.打开出口管排污阀和入口过滤器排污阀，检查是否有冷凝液。

5.干式螺杆真空泵常见故障及处理方法

6.干式螺杆真空泵安装注意事项

1）螺杆泵在初次启动前,应对集泥池、进泥管线等进行清理,以防止在施工落下的石块、水泥块及其他金属物品进入破碎机或泵内。

平时启启动前应打开进出口阀门并确认管道通畅后方可动作，对正在运转的泵在巡视中应主要注意其螺栓是否有松动、机泵及管线的振动是否超标、填料部位滴水中否在正常范围、轴承及减速机温度是否过高、各运转部位是否有异常声响。

2)作为螺杆泵，它所输送的介质在泵中还起对转子的冷却及润滑作用，因此是不允许空转的，否则会因磨擦和发热损坏定子及转子，在泵初次使用之前应向泵的吸入端注入流体介质或者润滑液，如甘油的水溶液或者稀释的水玻璃、洗涤剂等等，以防初期启动时泵处于磨擦状态，在污水处理行业有时会发生污泥或者浮渣中的大块杂质(如包装袋等)将吸入管道堵塞的情况，应昼避免这各种现象的出现，如不慎发生此类情况应立即停泵清理，以保护泵的的安全运行。

3)泵和电机安装的轴度精确与否，是泵地否平衡运转的首要条件。虽然泵在出厂前均经过精确的调定，但底座安装固定不当会导致底座扭曲，引起同轴度的超差，因此在首次运转前,或在大修后应校验其同轴度。

4)基座螺栓及泵上各处的螺栓，在运行过程中，基座螺栓的松动会造成机体的振动、泵体移动、管线破裂等现象，因此对基座螺栓的经常紧固是十分必要的，对泵体上各处的螺栓也应如此，.在工作中应经常检查电机与减速机之间、减速机与吸入腔之间以及吸入腔与定子之间的螺栓是否牢固。

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